Napędy dla przemysłu półprzewodników
Przemysł półprzewodników jest jedną z najbardziej innowacyjnych i dynamicznych gałęzi przemysłu na świecie. Napędzane zapotrzebowaniem na wysokowydajne chipy do sztucznej inteligencji, przetwarzania w chmurze, elektromobilności i 5G, inwestycje w nowe moce produkcyjne rosną w niepowstrzymanym tempie. Podczas gdy Azja nadal pozostaje centrum globalnej produkcji, w Ameryce Północnej i Europie powstaje coraz więcej nowych zakładów produkcyjnych, aby wzmocnić bezpieczeństwo dostaw. Najwyższe standardy czystości pomieszczeń, absolutna precyzja i niezawodność przez całą dobę są decydującymi czynnikami dla rozwiązań napędowych w tym środowisku.
Otwieranie i zamykanie pokrywy komór próżniowych
W produkcji płytek półprzewodnikowych konieczne jest bezpieczne i czyste przemieszczanie masywnych pokryw ciężkich komór próżniowych. Nasze dostosowane do potrzeb klienta systemy napędowe oparte na serii Compacta zapewniają w tym celu ogromny moment obrotowy i przekonują gładką, bezwentylatorową konstrukcją, która nie wzburza żadnych cząstek. Specjalna powłoka nieprzywierająca ułatwia czyszczenie i wspiera zastosowanie w pomieszczeniach czystych.
Podnoszenie pokryw maszyn litograficznych
W przypadku urządzeń litograficznych konieczne jest przemieszczanie ważących wiele ton pokryw maszyn. W tym celu stosowane są nasze dostosowane do potrzeb klienta napędy liniowe, które precyzyjnie i niezawodnie wykonują ruchy podnoszenia i obracania. Dodatkowo zmodyfikowane napędy Compacta przesuwają pokrywę na bok, dzięki czemu prace konserwacyjne mogą być wykonywane w prosty i bezpieczny sposób.
Napęd obrotowy i podnoszący do śluz próżniowych
Zawory próżniowe mają zasadnicze znaczenie dla kontrolowanego przepływu gazu w instalacjach półprzewodnikowych. Nasze połączenie dostosowanych do potrzeb klienta przekładni czołowych i kątowych umożliwia precyzyjne ruchy obrotowe i posuwowe oraz zapewnia niezawodne otwieranie i zamykanie zaworów tysiące razy dziennie – bez uszczerbku dla szczelności lub bezpieczeństwa procesu.
Autonomiczne roboty transportowe w pomieszczeniach czystych
Do transportu wrażliwych płytek półprzewodnikowych w pomieszczeniach czystych wykorzystywane są napędy piastowe firmy Framo Morat. Napędzają one bezzałogowe systemy transportowe, które automatycznie przemieszczają płytki między stacjami procesowymi. Zamknięte jednostki napędowe pracują cicho, bez wibracji i bezpyłowo – co ma decydujące znaczenie dla ich przydatności w pomieszczeniach czystych.
