Accionamientos para la industria de semiconductores
La industria de semiconductores es uno de los sectores más innovadores y dinámicos del mundo. Impulsadas por la demanda de chips de alto rendimiento para inteligencia artificial, computación en la nube, movilidad eléctrica y 5G, las inversiones en nuevas capacidades de fabricación siguen aumentando sin cesar. Si bien Asia sigue siendo el centro de la producción mundial, en Norteamérica y Europa están surgiendo cada vez más nuevas plantas de fabricación para reforzar la seguridad del suministro. Los más altos estándares de sala limpia, la precisión absoluta y la fiabilidad las 24 horas del día son los factores determinantes para las soluciones de accionamiento en este entorno.
Apertura y cierre de la cubierta de las cámaras de vacío
En la producción de obleas, las pesadas tapas de las cámaras de vacío deben moverse de forma segura y limpia. Nuestros sistemas de accionamiento personalizados basados en la serie Compacta proporcionan un enorme par motor y convencen por su diseño liso y sin ventilador, que no levanta partículas. Un recubrimiento antiadherente especial facilita la limpieza y favorece el uso en salas blancas.
Elevación de las tapas de las máquinas litográficas
En las instalaciones litográficas hay que mover tapas de máquinas que pesan varias toneladas. Para ello se utilizan nuestros actuadores lineales a medida, que realizan movimientos de elevación y giro de forma precisa y fiable. Además, los actuadores Compacta modificados desplazan la tapa hacia un lado, de modo que los trabajos de mantenimiento se pueden realizar de forma sencilla y segura.
Accionamiento giratorio y de elevación para esclusas de válvulas de vacío
Las válvulas de vacío son esenciales para el flujo controlado de gas en las instalaciones de semiconductores. Nuestra combinación de engranajes rectos y angulares específicos para cada cliente permite movimientos giratorios y de elevación precisos y garantiza que las válvulas se abran y cierren de forma fiable miles de veces al día, sin comprometer la estanqueidad ni la seguridad del proceso.
Robots de transporte autónomos en salas blancas
Para el transporte de obleas sensibles en salas blancas se utilizan accionamientos de cubo de rueda de Framo Morat. Estos accionan sistemas de transporte sin conductor que mueven automáticamente las obleas entre las estaciones de proceso. Las unidades de accionamiento cerradas funcionan de forma silenciosa, con pocas vibraciones y sin partículas, lo que es decisivo para su idoneidad en salas blancas.
