Yarı iletken endüstrisi için dişli sistemler
Yarı iletken endüstrisi dünyanın en yenilikçi ve dinamik sektörlerinden biridir. Yapay zeka, bulut bilişim, elektromobilite ve 5G için yüksek performanslı çiplere olan talebin etkisiyle yeni üretim kapasitelerine yapılan yatırımlar hız kesmeden artmaktadır. Asya küresel üretimin merkezi olmaya devam ederken, tedarik güvenliğini güçlendirmek için Kuzey Amerika ve Avrupa'da yeni üretim tesisleri giderek daha fazla inşa edilmektedir. En yüksek temiz oda standartları, mutlak hassasiyet ve 24 saat güvenilirlik bu ortamda sürücü çözümleri için belirleyici faktörlerdir.
Vakum odalarının kapağının açılması ve kapatılması
Wafer üretiminde, ağır vakum odalarının devasa kapaklarının güvenli ve temiz bir şekilde hareket ettirilmesi gerekir. Compacta serisine dayanan özelleştirilmiş tahrik sistemlerimiz bu amaç için muazzam torklar sağlar ve herhangi bir partikülü karıştırmayan pürüzsüz, fansız bir tasarımla etkileyicidir. Özel yapışmaz kaplama temizliği kolaylaştırır ve temiz oda kullanımını destekler.
Litografi makinelerinin kapaklarının kaldırılması
Litografi sistemlerinde birkaç ton ağırlığındaki makine kapaklarının hareket ettirilmesi gerekir. Özelleştirilmiş lineer tahriklerimiz bu amaçla kullanılır, kaldırma ve döndürme hareketlerini hassas ve güvenilir bir şekilde gerçekleştirir. Ayrıca, modifiye edilmiş Compacta sürücüler, bakım çalışmalarının kolay ve güvenli bir şekilde yapılabilmesi için kapağı yana doğru hareket ettirir.
Vakum valf kapakları için döner ve kaldırma aktüatörü
Vakum valfleri, yarı iletken tesislerinde kontrollü gaz akışı için gereklidir. Özelleştirilmiş helisel ve açısal dişli kutuları kombinasyonumuz, hassas dönüş ve strok hareketleri sağlar ve valflerin sızdırmazlıktan veya proses güvenilirliğinden ödün vermeden günde binlerce kez güvenilir bir şekilde açılıp kapanmasını sağlar.
Temiz odada otonom taşıma robotları
Framo Morat'ın göbekten tahrikli tekerlekleri, temiz odada hassas wafer'ları taşımak için kullanılır. Bunlar, wafer'ları işlem istasyonları arasında otomatik olarak hareket ettiren sürücüsüz taşıma sistemlerini çalıştırır. Kapalı tahrik üniteleri sessiz, düşük titreşimli ve partikülsüzdür. Bu nitelikler temiz oda uygunluğu için çok önemlidir.
