Antriebe für die Halbleiterindustrie
Die Halbleiterindustrie ist eine der innovativsten und dynamischsten Branchen weltweit. Getrieben durch den Bedarf an Hochleistungs-Chips für Künstliche Intelligenz, Cloud-Computing, Elektromobilität und 5G steigen die Investitionen in neue Fertigungskapazitäten ungebremst. Während Asien weiterhin als Zentrum der globalen Produktion gilt, entstehen in Nordamerika und Europa zunehmend neue Fertigungsstätten, um die Versorgungssicherheit zu stärken. Höchste Reinraumstandards, absolute Präzision und Zuverlässigkeit rund um die Uhr sind die bestimmenden Faktoren für Antriebslösungen in diesem Umfeld.
Öffnen und Schließen der Abdeckung von Vakuumkammern
In der Waferproduktion müssen massive Deckel schwerer Vakuumkammern sicher und sauber bewegt werden. Unsere kundenspezifischen Antriebssysteme auf Basis der Compacta-Baureihe stellen hierfür enorme Drehmomente bereit und überzeugen mit einem glatten, lüfterlosen Design, das keinerlei Partikel aufwirbelt. Eine spezielle Antihaftbeschichtung erleichtert die Reinigung und unterstützt den Reinraumeinsatz.
Anheben der Deckel von Lithographie-Maschinen
Bei Lithographie-Anlagen sind tonnenschwere Maschinendeckel zu bewegen. Hierfür kommen unsere maßgeschneiderten Linearantriebe zum Einsatz, die Hebe- und Schwenkbewegungen präzise und zuverlässig ausführen. Ergänzend befördern modifizierte Compacta-Antriebe den Deckel zur Seite, sodass Wartungsarbeiten einfach und sicher durchgeführt werden können.
Schwenk- und Hubantrieb für Vakuumventilschleusen
Vakuumventile sind essenziell für den kontrollierten Gasfluss in Halbleiteranlagen. Unsere Kombination aus kundenspezifischen Stirnrad- und Winkelgetrieben ermöglicht präzise Dreh- und Hubbewegungen und stellt sicher, dass Ventile tausendfach pro Tag zuverlässig öffnen und schließen – ohne Kompromisse bei Dichtheit oder Prozesssicherheit.
Autonome Transportroboter im Reinraum
Für den Transport empfindlicher Wafer im Reinraum werden Radnabenantriebe von Framo Morat eingesetzt. Sie treiben fahrerlose Transportsysteme an, die Wafer automatisch zwischen den Prozessstationen bewegen. Die geschlossenen Antriebseinheiten arbeiten leise, vibrationsarm und partikelfrei – entscheidend für die Reinraumtauglichkeit.
